7月19日，滨化集团在高端半导体材料领域迎来双重里程碑——两项核心业务取得重大突破，标志着公司在“科技驱动，向上突围”战略征程上迈出关键一步。
上午，北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。
高纯氟化氢气体是半导体晶圆制造中干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气。滨化集团通过工艺、工程、检测、充装四方面技术突破，实现制备、生产、分析、包装的闭环控制，产品品质达到6N等级（99.9999%），填补了山东省高纯氟化氢产能空白。
同时，由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会在滨化集团举行。专家组经过全面评审，一致认为该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。
超高纯电子级氢氟酸项目是山东省重点研发计划（重大科技创新工程）项目，由滨化集团联合天津大学共同完成。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈，实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级，已顺利导入14nm先进制程半导体终端客户，品质和稳定性获得行业头部企业认可。
近年来，滨化集团以“北鲲计划”为战略牵引，深度实施“421科创战略”。两项重大突破是滨化集团坚持“科技驱动、向上突围”发展理念的重要成果，对保障我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。
来源：滨化集团股份有限公司
